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產(chǎn)品名稱: 四氟化碳|四氟甲烷|CF4

其他名稱: 四氟甲烷、R14、tetrafluoromethane、carbon tetrafluoride

分子式: CF4

UN No. UN1956

CAS No. 75-73-0

產(chǎn)品純度:99.99~99.9999%

產(chǎn)品說明: 四氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體?？諝庵胁蝗紵潜容^穩(wěn)定的無毒物質(zhì)。但是在高溫時，或與可燃氣體一同燃燒時，分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。微溶于水，在25℃，101.325kPa時，水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗，太陽能電池的生產(chǎn)，激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)，印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于它的化學(xué)穩(wěn)定性，四氟化碳可用于金屬冶煉，例如：銅、不銹鋼，碳鋼、鋁、蒙乃爾等；還可用于塑料行業(yè)；如：合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。

注意事項: 不燃性壓縮氣體。儲存于陰涼、通風(fēng)倉間內(nèi)。倉內(nèi)溫度不宜超過30℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應(yīng)與易燃或可燃物分開存放。驗收時要注意品名，注意驗瓶日期，先進倉的先發(fā)用。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。泄漏時，應(yīng)迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并進行隔離，嚴格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng)，加速擴散。如有可能，即時使用。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗后再用。四氟化碳一般認為是惰性低毒物質(zhì)，在高濃度下是窒息劑，其毒性不及四氯化碳。 四氟化碳為非腐蝕性氣體，所有通用材料如鋼、不銹鋼、銅、青銅，鋁等金屬材料都可以使用，但是含鎂大于2%的合金不能用。在高溫，一些金屬起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增長的次序由小到大地排列則如下：因科鎳合金、奧氏體不銹鋼、鎳、鋼、鋁、銅、青銅、黃銅、銀?？梢杂镁鬯姆蚁?，環(huán)氧樹脂和醋酸纖維。尼龍在高溫，有水和空氣時變脆。聚三氟氯乙烯聚合體可以用，但稍微有膨脹。廢氣可直接排人大氣中。